НИЛ анализа кремниевых структур


Научный руководитель:
ТОЛМАЧЕВ Сергей Валентинович

к.х.н., ведущий инженер отдела инновационных технологий

Технический руководитель:
АСТРАХАНЦЕВ Николай Вениаминович

ведущий инженер отдела информационно-измерительных систем

Контактная информация:
664074, г. Иркутск, ул. Игошина 1А, Технопарк ИрГТУ, ауд.101
e-mail: tolmachev.uss@mail.ru


Специализация:

Исследования физических свойств и проведение рутинных анализов на содержание примесей кремниевых материалов (кремний солнечного и полупроводникового качества, кварц, кварцевое стекло) ICP-MS спектрометрией и другими методами. Исследование кристаллографических параметров материалов, качественный и количественный фазовый и элементный анализ веществ.

Уникальность лаборатории:

Лаборатория оснащена новейшим оборудованием, позволяющим производить анализ кремния, кремниевых материалов и чистой воды на содержание сверхнизких концентраций примесей.

Основное оборудование лаборатории – масс-спектрометр ICP-MS «Agilent 7700s» – является современным высокоавтоматизированным прибором с высочайшей декларируемой чувствительностью ко всем основным примесным элементам, содержание которых определяет качество производимых в мире кремниевых материалов для нужд солнечной энергетики и микроэлектроники. Использование данного оборудования исключительно для анализов проб кремния и воды со сверхнизкими концентрациями загрязнений позволит избежать «заражения» аналитического тракта прибора, что обеспечит предельную чувствительность к примесям других химических элементов и достоверность измерений, которые необходимы при отработке технологии производства отечественных высококачественных кремниевых материалов и аттестации продукции. Ведётся подготовка по созданию на базе лаборатории аккредитованного центра, который сможет производить независимую оценку качества для целей арбитража производителей и потребителей кремниевых материалов.

Оборудование и возможности лаборатории:

Результаты деятельности:

В настоящее время выполняются работы по проектам: